实验室做局部洁净,先把洁净区和排风区的边界划清楚。一般把样品前处理、称量、分装这些操作放在局部百级或万级区域,化学分析和高温烘烤放在排风罩下。洁净区和非洁净区之间保持5到10Pa的正压差,排风侧相对走廊保持负5到负10Pa,气流从洁净区流向污染区,不倒灌。这个压差梯度靠变频风机和压差传感器联动维持,调试阶段用微压计逐点校准。

局部百级(ISO Class 5)区域,垂直单向流工作面风速控制在0.25到0.45m/s,换气次数按截面风速反推,一般每小时400到600次。万级(ISO Class 7)区域换气次数每小时25到40次,风速可以放到0.15到0.25m/s。高效送风口用H14过滤器,对0.3微米颗粒过滤效率99.995%以上。洁净区工作台面高度按800mm设计,送风口正对操作区,回风口设在侧墙下方300mm处,避免气流短路。
| 项目 | 参数 |
|---|---|
| 洁净等级 | ISO Class 5 / ISO Class 7 |
| 工作面风速 | 0.25–0.45 m/s(百级) |
| 换气次数 | 400–600 次/h(百级) |
| 过滤效率 | H14,≥99.995% @0.3μm |
| 区间压差 | 洁净区对走廊 +5 至 +10 Pa |

化学操作区用万向抽气罩或顶吸排风罩,罩口风速0.4到0.6m/s,罩口到操作面距离不超过300mm。排风管内风速控制在8到12m/s,支管接到主管时用45度斜三通,减少阻力。风机选离心式,全压按管路阻力加15%余量计算,一般每平方米排风量按800到1200立方米每小时配。排风口加装活性炭或酸雾净化塔,处理后达标排放。
| 项目 | 参数 |
|---|---|
| 罩口风速 | 0.4–0.6 m/s |
| 罩口距离 | ≤300 mm |
| 管内风速 | 8–12 m/s |
| 排风量 | 800–1200 m³/(h·m²) |
| 风机全压 | 管路阻力×1.15 |

调试阶段用尘埃粒子计数器逐点测洁净度,百级区0.5微米粒子每立方米不超过3520个。压差表装在门侧,每天记录一次。高效过滤器阻力超过初阻力1.5倍时更换,一般使用寿命2到3年。排风罩每周清理一次油污,活性炭每季度更换,风机皮带每半年检查松紧度。这些参数都记在设备台账上,方便追溯。
| 项目 | 参数 |
|---|---|
| 洁净度检测 | 0.5μm ≤3520 粒/m³ |
| 压差记录 | 每日 1 次 |
| 过滤器更换 | 阻力≥初阻力×1.5 |
| 活性炭更换 | 每季度 |
| 风机皮带检查 | 每半年 |
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