洁净工作台使用一段时间后，初效过滤器表面会积尘，风阻上升。这时候压差表读数会明显变化，一般压差超过250Pa就要考虑更换初效了。高效过滤器的寿命更长，但同样需要定期检查。压差表是判断过滤器状态最直接的工具，数值异常说明过滤器已经堵塞。
压差表通常安装在高效过滤器前后。新装过滤器的初始压差一般在100Pa到150Pa之间。随着使用时间增加，压差会缓慢上升。当压差达到250Pa至300Pa时，说明过滤器容尘量接近饱和，需要更换。压差表读数如果突然下降，可能是过滤器破损或安装密封不良，这时候要立即停机检查。初效过滤器的更换周期一般在3到6个月，具体看使用环境的粉尘浓度。
洁净工作台的风速直接影响洁净效果。层流工作台的断面风速一般控制在0.3m/s到0.5m/s之间。风速低于0.25m/s时，洁净区无法维持ISO Class 5的洁净等级。换气次数是另一个重要指标，一般要求每小时换气100次以上。风速校准建议每半年做一次，使用风速仪在工作台面均匀取点测量。风速过高会增加噪音，一般控制在60dB以下比较合适。
更换高效过滤器时要先关闭风机，然后拆下压差表和风速传感器。拆卸过程中要小心，避免划伤过滤器边框的密封胶条。安装新过滤器前，要检查箱体内部是否清洁，密封面是否平整。过滤器安装后要用检漏仪检查边框密封，扫描检漏的泄漏率要低于0.01%。安装完成后开机运行30分钟，让过滤器充分自净，然后再测量风速和压差。整个更换过程建议在静态环境下操作，避免扬尘。
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